二手 CANDELA OSA 5100 #9394284 待售

CANDELA OSA 5100是一种晶圆测试和计量设备，为各种晶圆尺寸和工艺提供精确的测量和屈服分析。它的光学系统配备了一个独特的光学视觉单元，由自动模式识别（APR）和ADP（自动缺陷检测处理）扫描工具和技术组成，使其能够精确检查直径从8"到13"的多达25个晶圆。4点非接触式测量能力确保精确测量，而其高分辨率成像机则允许高度详细的分析。该扫描仪包括一个独特的组合激光灯和高分辨率相机，这使得自动化缺陷检测和分析。该工具还支持使用激光烧蚀检测识别（LADR）技术扫描晶片。这样可以准确识别和分类各种激光燃烧或图样化特征,从而提高产量管理。资产还为关键缺陷计数、拆分和合并、产品绑定、损益数据以及其他自定义服务和分析提供晶圆图分析。OSA 5100模型执行冷热计量,包括层厚度、CD计量、反射率、电阻率和泄漏检测。该设备配备了自动晶片扫描的"高级控制"系统，该系统在实时环境中运行，以便以批量或连续模式对晶片进行高效和准确的扫描。操作员还可以手动控制单元，为不同的应用定制测试参数，并获得更精确的结果。此外，该机支持具有实时晶圆对准控制的自动化聚焦自适应扫描/分析（FAS/FA），为每个晶圆提供激光扫描的优化焦点。这种多维对齐控制程序被编程为满足客户指定的标准，并基于内置智能，允许提高激光扫描晶圆计量的精度。总体而言,CANDELA OSA 5100工具是一种可靠且用途广泛的晶圆测试和计量资产,它提供了一系列功能,可增强产量管理并获得一致的精确结果。它是半导体晶圆制造工艺的有效工具，是任何制造实验室的重要补充。