二手 CANON IUC Meter for MPA 500 #293626985 待售

用于MPA 500的CANON IUC仪表是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于精确、精确地测量半导体晶圆的整体形状和电气特性。它能够将晶片成像到纳米级，并具有测量缺陷或异常的广泛特征。该系统配有高分辨率光学显微镜和共焦激光显微镜（CLM），用于对晶片的单晶结构进行成像和分析。显微镜可以检测特征小平面，并分析各种各样的表面细节，如嵴边和平坦表面。该单元还可用于电气故障分析，采用电流电压（I-V）特性曲线测量的晶圆。这允许检测和表征电气缺陷，因为它能够测量诸如击穿电压和电荷注入等参数。MPA 500还有一个集成的晶圆膜厚度（WFT）机器，能够测量晶圆上绝缘膜的厚度。激光捕获WFT工具具有广泛的测量能力，例如以纳米、微米和密耳来测量厚度。该资产还配备了机器人晶片处理模型，该模型允许将多个晶片自动装入和卸出设备。机器人系统由两条传送带组成，这些传送带将晶片从一个工作站移动到另一个工作站。该单元有一个高级软件，称为HyTools-DW，这是一个用于晶圆测试和计量的自动化数据捕获和分析软件。这样可以对测试过程进行更大程度的控制,也可以更轻松地生成测量报告。最后，用于MPA 500的IUC仪表包括了自动聚焦和自动平面化等多项先进功能，在分析晶片时提供了更大的稳定性和准确性。机器还包含一个深入的手册，它提供了工具的特点和功能的全面概述。总体而言，用于MPA 500的CANON IUC Meter是一种先进的晶圆测试和计量资产，提供高精度和精确度，以及各种创新功能。它具有广泛的功能和先进的软件，是表征和分析任何类型半导体晶圆的重要工具。