二手 CDE RESMAP 178 #293639677 待售

CDE RESMAP 178是一款功能广泛的最先进的晶圆测试计量设备，非常适合半导体晶圆计量和工艺监控的应用。其强大的成像能力使晶圆级特性和参数的精确测量具有优异的效果。该系统包括一个78通道电子束（EB）柱与亚纳米分辨率。这与高分辨率、高灵敏度、CCD相机相结合，能够检测半导体晶圆表面甚至微妙的变化。这使得它成为测量各种参数如蚀刻深度、几何形状、轮廓特征、图桉和掺杂特征等的有效工具。该单元还设有一套全面的计量工具，如轮廓映射、边缘检测、星号分析、SEM成像和参数化。这些工具旨在检测和测量最小的曲面特征,并帮助操作员识别工艺趋势。除了先进的成像能力外，该机还提供一系列用户友好的控件和功能。其中包括手动和自动控制测量参数、支持各种对齐系统、多个坐标系、可定制的显示参数以及自动数据日志记录。总体而言，CDE RESMAP178晶片测试和计量工具为晶片过程监测和缺陷分析提供了强大的平台。其对焦深度、半自动图像比较和其他功能的配置使其成为寻求改进晶圆级计量能力的半导体制造商的理想解决方桉。