二手 CDE Resmap 363 #9202949 待售

CDE Resmap 363是一种健壮可靠的计量设备，执行非接触晶圆测试和计量。利用先进的光学和激光检测技术，精确地测量和评估晶圆表面特征。该系统支持广泛的应用,包括临界尺寸（CD）测量、缺陷检查、迭加和全场临界尺寸均匀性（CDU）。Resmap 363激光扫描平台设计用于纳米米甚至亚微米尺寸等功能尺寸明显较小的情况。这使得它成为前沿半导体技术晶圆测试和计量的理想解决方桉。该单元可以使用光学算法和激光算法可靠地测量高精度，并配备先进的软件引擎，提供灵活和稳健的特征设置和统计分析。它还提供了对各种行业标准输出格式的支持，使其易于与其他系统和数据处理平台集成。该机具有较高的吞吐量,具有快速的采样处理和快速的数据采集速度.它还通过使用"展望"功能来支持高吞吐量,该功能允许工具在实际测量数据之前识别和预测数据中的模式。此外,CDE Resmap 363还配备了自动控制功能,如缺陷图像识别、数据驱动的平面图和对齐图,以及用于在整个字段中对齐和聚焦的自动化功能。Resmap 363提供了广泛的应用和功能,并在晶圆测试和计量方面实现了高精度和快速。其先进的光学技术和基于激光的技术提供了卓越的性能、效率和可靠性,资产的广泛功能和自动化功能使其成为晶圆测试和计量的有效和可靠的解决方桉。