二手 CHAPMAN MP2000+ #9361806 待售

CHAPMAN MP 2000+是一种先进的晶圆测试和计量设备。它旨在精确地测量和表征晶圆上的亚微米特征，以及提供各种其他必要的测量和测试。该系统完全自动化，集成了最先进的成像、计量和样品处理系统。超精密的高级运动平台可以快速准确地表征各种基板上的微小特征，包括光掩模和晶圆。MP 2000+利用4轴定位级，将测量坐标快速准确定位在晶圆顶部。这个驱动单元由几何和覆盖的光栅刻度驱动，允许对晶片进行极精确的对准和定位，用于每个单独的测量。激光干涉仪用于为XYZ定位级机提供精确的位置反馈和制动校正，使每次测试都能实现亚微米分辨率和重复性。该工具还包含高分辨率显微镜成像资产，使用户能够实时可视化晶片上的特征，详细了解晶片的布局和结构。显微镜的CCD相机检测从晶片表面发出的光，并在显示器上显示图像，以便立即查看和操作。此外，CHAPMAN MP 2000+有一个强大的20W激光干涉仪，用于测量、缝合和测量微结构。这种强大的检测模型确保了每次测试的最高精度，允许对晶圆上的特征进行亚微米检测和分析。此外,内置的20W激光激发设备允许用户检测和测量其他表面特征,如颠簸、划痕或腐蚀。最后，该系统具有高速数据采集和处理功能，具有直观的图形用户界面和内置的分析工具。这为用户提供了即时结果，允许对晶圆性能进行详细的过程控制和实时洞察。综上所述，MP 2000+是设计用于半导体制造的功能强大的晶圆测试和计量单元。它集成了先进的运动、成像、计量和样品处理技术，用于最精确的晶圆测量。激光激发和干涉仪系统提供了无与伦比的精度和分辨率，而数据采集和图形用户界面则实现了即时测试结果和实时过程控制。