二手 COHERENT LaserCam-HR #293609595 待售

COHERENT LaserCam-HR是一种自动化晶圆测试和计量设备，能够精确测量晶圆和其他薄物体。它通过激光和数字成像相结合，提供高分辨率成像和测量能力。具体而言，该系统利用被动稳定Q交换激光器进行照明和大幅面、Peltier冷却的线路间传输CCD（电荷耦合器件）成像进行摄影测量。LaserCam-HR设备的高级体系结构使其能够以低至1/2微米的分辨率实现微米级的精度和可重复性,这是当今高精度晶圆测量的理想选择。高精度激光辅助成像本身是以实时、自动化的方式完成的，这要归功于机器的高速检流计扫描仪。扫描仪以编程模式在晶圆表面移动激光束，从而获得高分辨率图像。此成像过程支持多种高级功能,包括表面轮廓和特征测量、通量计量和成像缺陷检查。该工具包括各种其他高级功能,可进一步提高其性能。这些包括晶圆跟踪、精确的光束功率控制、先进的采样测量算法和重新测量能力。这种广泛的特性使得资产特别适合在各种晶圆基板上进行精确、自动化的测量。COHERENT LaserCam-HR模型还拥有令人印象深刻的后处理功能列表。其中包括一个可编写脚本的测量模板库、一个广泛的统计数据包和一个集成的报告生成设备。此外,该系统还可以通过其行业标准接口轻松集成到现有系统和工作流程中。总体而言，LaserCam-HR是测量晶圆和其他薄物体的高能力、精确和可靠的单元。它的高级功能、高分辨率成像功能和后处理选项相结合,使其成为满足当今晶圆测试和计量需求的理想解决方桉。