二手 CYBEROPTICS EX-43Q #9079803 待售
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ID: 9079803
Wafer mapping sensor
Dual wide beam
Optimum detecting distance: 1.5"
Maximum detecting range: 1.4" - 1.6"
Voltage: 9 24 V DC
Current consumption: 130 mA, 200 mA max
Light source:
(2) 850 nm Diode lasers
(2) 0.6 mW max, 0.77 mW max
Laser class: Class 1 (CDRH)
Detectable objects: Transparent, opaque and mirrored surfaced objects
Laser spot size: 10 mm x 0.05 mm
Working angle: ±16°
Response time: 400 us max
Minimum pulse width: 5 msec
Indicator:
Laser power (Red)
Signal out (Green)
Control output: MOSFET Open drain, low true, 80 mA max at 24 V DC
Connections: 16", (4) Conductor cables
Temperature limits:
Operating: 0° to 40°C
Storage: -30° to 55°C.
CYBEROPTICS EX-43Q是一种非接触式光学晶片测试和计量设备,可为直径不超过3英寸的晶片提供高度精确的尺寸和地形剖面。该系统将先进的剖析算法与高功率激光二极管结合在一起，提供快速、高分辨率的测量。EX-43Q可靠可靠,非常适合自动探测和手动测试。该单元使用光纤布拉格光栅（FBG）光头,该光头与晶圆的对峙距离为15mm,焦距为90mm,可增加聚焦深度。这款光学头连接到具有470mm x 470mm工作区、200 mm提升范围、对准精度为0.1µm的电动XY级。综合起来，这些特性提供了可靠和一致的晶圆测量和高度的可重复性。该机设计运行速度快,扫描速度为5.25m/sec,最大加速度为1.3 m/s2,同时在0.05-3.0mm的晶圆平坦度范围内提供3µm全宽半大度（FWHM）精度。此外，CYBEROPTICS EX-43Q提供数据查看和记录，图像数据以JPG和TIFF文件等图形格式存储。该工具需要最少的维护或干预,因此非常适合扩展的生产环境。EX-43Q是高度可配置的,可用于多种设置,另外还有一些选项,如闭环伺服电动检查头和自动晶圆捕获附件。总体而言，CYBEROPTICS EX-43Q晶圆测试和计量资产以高效和具有成本效益的方式提供了可靠、准确的结果。其空气辅助非接触式设计减少了样品的磨损,同时其可扩展性和可配置性使其成为各种自动化和手动测试方桉的理想选择。
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