二手 DNS / DAINIPPON Lambda Ace VM-2200 #293664935 待售

DNS / DAINIPPON Lambda Ace VM-2200
ID: 293664935
晶圆大小: 4"
Film thickness measuring system, 4".
DNS/DAINIPPON Lambda Ace VM-2200是一种晶圆测试和计量设备,设计用于从晶圆到模具水平的高级计量。随着半导体工艺的进步,人们一直需要能够测量纳米和十纳米级的图样特征。该VM-2200是一个综合测试和计量系统,满足这一需求。该单元的光学布局基于超高速激光扫描机,提供了最高的勘测速度和准确的测试结果。该平台与各类晶片兼容,包括Silicon、GaAs和TIMS(一种薄膜半导体)。该工具容量大,由两级、四个端口和一个高端图像处理器组成。此配置允许同时测试多个晶片。高端处理器能够快速处理复杂的映像数据。这与传统的扫描晶圆显微镜形成对比,后者需要使用较慢的处理器进行单独的图像分析。图像采集速度也由于基于激光的资产而快得多。该VM-2200还有一套专门用于计量和光学检查的软件。该软件允许对晶圆数据进行高效分析,以及对测试参数进行调整。此软件允许用户对每个应用程序的模型进行微调。此外,该软件还提供了一个界面,用于实时分析数据并生成自动报告。此外,该设备还配备了高级功能,可提供高度控制和精确测量。这些特性包括集成散射仪,能够精确测量线宽和线步,以及相移干涉仪,用于测量薄膜厚度。此外,系统还包括一个自动对齐单元,可快速、精确地为每个应用程序校准计算机。DNS Lambda Ace VM-2200是晶片高速、高精度测量的理想工具。该VM-2200具有先进的特点和直观的用户界面,是纳米和十纳米级先进计量应用的理想选择。
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