二手 DNS / DAINIPPON VM-8200 #9374928 待售

DNS/DAINIPPON VM-8200是为商用IC和MEMS制造而设计的晶圆测试和计量设备。该系统具有广泛的计量和测试能力，如非接触测量、纳米级成像、多维电气测试和光学检查。DNS VM-8200包括增强的光学功能,具有近红外、多波长和偏振成像功能。这些成像功能使DAINIPPON VM 8200能够以高精度捕获各种晶圆曲面上最广泛的纹理、形态和光学特征。此外，该单元融合了膨胀的电气测试能力，允许对大小电路进行测试，并包括多种电流和电压测量方法。这些电气测试功能与各种应用程序的3D电压映射和电流密度映射相结合。VM 8200还具有非接触式迭加测量功能,可实现高度精确的模式对齐和迭加放置验证。该机可以测量小至8nm的迭加变化，并提供晶圆表面的3D图像进行比较分析。此外,VM-8200的纳米级成像功能使用户能够在横截面和自上而下的视图中捕获从3 nm以下到50 µm的详细SEM图像。为确保测试的最大准确性和可重复性,DAINIPPON VM-8200包括用于数据采集、处理和分析的特殊算法和过程。此外,该工具还提供了一组自动晶片识别功能,可帮助识别和区分框架内的晶片。这种晶圆识别方法可帮助用户在无需手动输入的情况下更快、更准确地进行测量。总体而言,DNS/DAINIPPON VM 8200是用于商用IC和MEMS制造的多功能测试和计量资产。它允许高精度的2D和3D成像、电气测试和非接触迭加测量。此外，自动晶圆识别功能和过程优化算法还为用户提供了可靠准确的结果。