二手 EM ETAMAX UniMAP #9360878 待售
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ID: 9360878
Automatic reflectivity mapping system
With transformer for EU voltage, 230V
ULVAC Vacuum pump for robot
(14) Cassettes, 2"
(6) Cassettes, 4"
(6) Cassettes, 6"
Main frame:
X-Y Stage: AC Servo control
Cassette holder: 2"-6"
Operating cassette size: 2"-6"
Robot type: Auto loader
Flat zone finder
Z-Stage adjustment
Light source:
White LED: Reflectance measurement
LED Intensity monitoring: One sensor
Spectrometer:
3636 Pixels
Wavelength range: 420 nm, span: 380-800 nm
Hardware pixel resolution : 0.13 nm/pixel
Optic slit: 50 µm
USB Control
Filters and lens
Measurements:
Wafer surface uniformity
Reflectance by spectrometer
Calculated by maximum - minimum / Maximum + minimum
Calculated by standard deviation
Minimum and maximum value of reflectance
Data acquisition PC:
Operating system: Windows 7
LCD Monitor, 17
Sorting function:
PSS Uniformity / Reflectance mapping
Power supply: 220 V, 30 A, 3-Wires
CDA: 0.2 ~ 0.4 Mpa.
ETAMAX EM ETAMAX UniMAP设备是一种晶圆测试和计量工具，为测量半导体晶圆和芯片的电气和物理性能提供了全面的解决方桉。该系统涵盖晶片测试的各个方面，从设计到分析，确保晶片符合所有行业标准和规范。ETAMAX UniMAP由三个核心模块组成：过程控制、测试仪器和计量。过程控制使用AutoCell技术提供对过程参数和测试条件的精确控制。这有助于确保晶片的生产符合客户指定的规格。测试仪器包括一系列专门的自动化工具，用于测量晶圆的不同电性能，如电阻、电容和泄漏电流。计量用于测量物理晶圆参数，如厚度和曲率。它也用于检测可能影响晶圆性能的缺陷。在使用ETAMAX EM ETAMAX UniMAP测试晶片时，用户可以设置测试序列来测量他们希望评估的具体特性。该单元提供了一系列收集数据的方法，包括接触成像、力和热扫描。该机器还可用于分析数据，将结果与过去的规范进行比较，并在需要时提出纠正措施的建议。ETAMAX UniMAP是业界最先进的晶圆测试和计量系统之一，为用户提供了无与伦比的准确性和可靠的晶圆评估平台。该工具效率极高，是生产线晶圆测试的理想选择。其用户友好的界面和直观的控制面板使其用户友好且易于使用。此外,它的软件在PC上运行,不需要专用硬件。总体而言，ETAMAX EM ETAMAX UniMAP是一项功能强大、可靠且具有成本效益的晶圆测试和计量资产，为用户提供测量和评估半导体晶圆和芯片的综合解决方桉。其先进的特性和全面的能力使其成为准确可靠的晶圆处理的可靠选择。
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