二手 EPIPLUS / ETAMAX PL+ M100 #9000233 待售
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ID: 9000233
晶圆大小: 2"-4"
优质的: 2010
Photoluminescence mapping metrology system, 2"-4"
Manual PL for use with blue and UV LEDs
Currently set up for 2" wafers and can run 4" as well
This is a combination of the EpiPlus and EtoMax hardware/software and running as an EtoMax Platom manual loading system
System operates in dual mode measuring both PL and thickness at the same time
System measures PL(Blue), PL (UV), PL + RF and RF
Software allows for custom susceptor design to display result per wafer loaded pockets
Comes with Plato User Guide & Pl + M100 Operation Manual
2010 vintage.
EPIPLUS/ETAMAX PL+M100是一款高性能晶圆测试和计量设备，为先进的半导体制造应用提供尖端解决方桉。它配备了激光光学计量系统，能够测量各种参数集，从表面结构特征、深度、特征高度，到设备深度、电场、掺杂浓度的三维电测量。ETAMAX独特的8轴单元使用户能够对无法使用常规工具获得的特征执行非接触式测量。高分辨率光头在特征尺寸和轮廓测量方面达到了极好的精度。该机还能够测量一系列参数，如线宽、临界尺寸、迭加误差和侧壁角。该工具还拥有一个集成的软件套件,它提供了一系列功能强大的功能,包括用于字符识别的自动对焦、OCR（光学字符识别）和光学扫描反转,使用户可以轻松测量关键设备和跟踪线路。该软件还能够执行高精度测量,确保精确控制临界尺寸、对齐和迭加误差,以提高产量。ETAMAX PL+M100专为易于使用而设计,具有直观的用户界面,使操作员即使在未经培训的员工中也能快速操作资产。它还可用于执行包括晶圆探测、缺陷识别和光阻厚度测量在内的一系列应用。总之，EPIPLUS PL+M100是一种功能强大且可靠的半导体应用工具。其独特的8轴模型和集成软件套件使其成为满足专业测试和计量需求的完美解决方桉。它的多功能性和易用性确保设备可以被所有技能水平的用户使用。
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