二手 FARO 3D Platinum #9006174 待售
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ID: 9006174
Measurement arm, 4"
Control Station Platinum 4:
Part no. CS-P0402-21
Touch screen computer
6-axis
Soft check tool manager software with developer's kit
CAM2 measurement software
Computer support arm
Mounting plate
(1) 3 mm Zircon hard probe
(2) 6 mm Zircon hard probe
Granite rolling cart:
Part no. ACCS0164
Granite surface plate with toe clamp inserts
(2) Integrated FaroArm mounts
Locking heavy duty casters
Locking cabinet doors
(52) Piece toe clamp set
Magnetic mount (arm and FLT):
Part no. SM029
Magnetic base
Not included:
Digital camera
Computer.
FARO 3D铂金是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆的精确测量和测试。它提供X和Y方向的精确测量以及Z方向的深度。它以高速空气轴承扫描平台为基础，结合精密激光干涉仪进行精确运动控制。激光干涉仪测量三个正交方向的相对运动和运动的加速度、减速和方向。其光学计量系统以先进的共焦技术为基础，能够精确测量晶片的轮廓和形状、高度和粗糙度，以及检测非均匀性。其独特的光学单元为3D测量提供了可靠的精度和可重复性，而其庞大的扫描范围不仅涵盖了所有半导体晶圆尺寸，还提供了适应未来半导体趋势的灵活性。3 D白金机集成了业界领先的自动化计量软件界面,具有全面的组件测试和检查功能。其中包括过程参数监控、缺陷分析、高分辨率成像和自动缺陷分类,以及高级元件特征的3D分析。完整的工具,包括硬件和软件,旨在集成到完整的串联过程中。它能够在启动工艺和/或检查晶片光刻后和/或CMP后检测和拒绝晶片。自动计量测量的结果可以进行数据记录，并用于串联过程控制以及统计过程控制。FARO 3D白金资产符合最严格行业标准的要求，如SEMI 1463和IEO 715。它具有可靠的性能和稳定性，具有强大的控制器和较高的采样率。它有助于制造商满足关键任务规格的要求,并在安全的制造环境中保持一致的性能。
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