二手 FEI DA300 #293670288 待售
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ID: 293670288
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Defect analyzer, 12"
NG Scanning Electron Microscope column (SEM)
Detectors: ETD, TLD, CDEM
Sidewinder FIB Column: 20 nA
BROOKS Front end FOUP
Capacitance probe
OXFORD 30 mm
SDD EDS
Plasma cleaner
OMNIPROBE 200 Manipulator
Gas injection system: Pt
Operating system: Windows XP
2010 vintage.
FEI DA300是一种高性能晶圆测试和计量设备,设计用于处理最苛刻的测试场景。柔性系统非常适合测试厚晶片和薄晶片,并且能够跨一系列半导体技术处理各种任务。DA300单元包括一个高精度干涉仪和一个保护室,以及针对各种晶圆尺寸和配置的几个晶圆测试阶段。该干涉仪设计用于测量表面平面度和高度差异,在闭环机器下运行,从而实现更快的计算。此外,专用的高端运动控制工具可确保卓越的精度和精细的可追踪性,从而实现测试精度。在光学方面,资产采用了具有4英寸MIMO光圈的成像模型,以及完全可编程的连续机械扫描模式。该设备还具有先进的软件和一系列先进的二维和三维晶圆测试算法。更重要的是,该系统还能够处理一系列可选的称重功能,从而允许更快的检查和更重的工作负载。FEI DA300设计直观易用,为潜在问题提供清晰预警信号。它还具有彩色触摸屏的集成控制单元,允许用户在按下按钮时快速访问最常用的参数。机器还提供即时测量和自动生成报告功能,从而实现更高效的工作流。总体而言,DA300是一种功能强大且可靠的晶圆测试和计量工具,旨在处理各种任务,从精确的表面平整度和高度测量到自动即时测量。该资产还针对快速准确地执行繁重的工作负载进行了优化,而软件提供了广泛的高级功能,使用户能够从模型中获得最大收益。
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