二手 FEI DA300 #9266820 待售
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ID: 9266820
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Dual beam Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
Upgraded to SEM and FIB columns
Electron NG SEM SFEG Column
Sidewinder FIB Column: 20 nA
XYZRT Stage has been replaced
OMNIPROBE 200
BROOKS Dual front end, 12"
STEM Detector
Capacitance probe
TEM Sample unloader unit
Chiller
Pre-vacuum pump
Manual included
Operating system: Windows XP
2010 vintage.
FEI DA300是一种革命性的晶圆测试和计量设备，旨在满足先进技术节点加工和产量管理的要求。由FEI公司开发，DA300是一个统一的计量平台，在一个系统中结合了多种计量解决方桉。这使用户在从单个晶片解决方桉扩展到大批量生产晶片探测方面具有最大的灵活性。FEI DA300单元为检查和验证输入、输入和输出晶片和设备的性能提供了高吞吐量和不妥协的准确性。其先进的计量能力来自于FEI先进的光学检测和各种表征解决方桉的结合。光学检查提供了表面、电气和工艺相关测量的亚微米分辨率图像，而各种表征解决方桉提供了电阻和电容、泄漏电流和介电常数的完整表征。该机还具有高速、单模探测能力。优化了DA300平台的尖端机械设计，减少了周期时间，增加了吞吐量，同时保持了探测力的严密控制，最大限度地减少了对设备性能的影响。创新的AutoFocus技术利用差分光学器件促进探头的快速一致聚焦,从而大大缩短了总设置时间。为了实现快速、轻松的硬件和软件控制,FEI DA300配备了自动机械臂。该机器人臂由计算机控制，提供快速灵活的运动，以及晶圆抓握和探测力控制。可使用可选的附加模块，如SEM/FIB、Raman和高分辨率临界尺寸测量（HR-CDM），进一步定制该工具。与FEI软件套件的完全集成使DA300成为满足完整计量需求的理想解决方桉。FEI DA300提供卓越的性能和准确性,不会影响灵活性或寿命。其灵活的配置提供了最大的设计自由度,并能够轻松适应不断变化的产品需求。该平台强大的设计和创新功能使资产能够处理任何晶圆应用程序,从而确保可靠且可重复的结果。
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