二手 FILMETRICS F10-ARc #293645023 待售

Filmtrics FILMETRICS F10是一个最先进的晶圆测试和计量平台，专为半导体行业的先进半导体过程控制而设计。它提供了各种计量能力的组合，如制图、光学检查、光谱椭圆偏振和散射测定法，以及独特的粒子计量能力，使高级工艺控制成为可能。它是市场上最先进的晶圆测试和计量系统之一，提供广泛的功能。Filmtrics FILMETRICS F 10基于先进的光学、视觉和光谱技术的组合。它拥有一个独特的视觉平台，称为"Vision64视觉设备"，包括先进的成像能力和先进的图像处理算法相结合，以实现晶圆级过程控制的详细图像分析。该系统还配备了"LCM计量"控制软件，具有用户友好和直观的控制软件，用于控制整个单元。Filmtrics F10具有完全自动化、定期和静态的光学检查功能。机器有两个大的观察窗口，可以同时检查多达四个具有多个工艺步骤和层的整个晶片。该工具还集成了微米扫描光学器件，用于晶圆级工艺控制的详细表面测量。F 10具有独特的计量能力，能够在晶圆级表征各种工艺和结构参数。它可以测量膜厚度和分辨率高达6.5微米的CD变化，以及折射率和消光系数测量，以更好地评估材料特性变化。它还能够通过可选的elypsometer增强功能来测量各种材料（包括epi层）的可重复和可重现的光学厚度。该资产还集成了粒子污染分析、粒度分析、形态分析和缺陷分析的最新技术。结合上述计量能力，FILMETRICS F10提供了全面的晶圆级工艺和质量控制能力。Filmtrics FILMETRICS F 10还提供多种取样模式，用户一次最多可以选择四个晶圆来测量过程和结构参数，让用户可以灵活地优化和改进他们的过程。该模型还集成了一个样本位置识别设备，该设备利用机器视觉来获得准确和一致的样本位置。总之，Filmtrics F10是一个强大而先进的晶圆测试和计量系统，提供卓越的过程控制和质量保证能力。其独特的计量学和粒子计量学能力相结合，使其成为半导体过程控制的理想选择。