二手 FILMETRICS F10-RT #293654461 待售

ID: 293654461
Thin film analyzer.
FILMETRICS F10-RT是一种晶圆测试和计量设备,能够以高精度和高精度测量半导体晶圆上的各种特性。它是一种非接触式光学系统,采用分光光度法和椭圆偏振法相结合来测量晶圆的厚度和层间的距离。该单元由高清光学平台、控制器单元和基于PC的软件套件组成。F10-RT的光学平台提供10倍-100倍的放大倍率,晶圆表面具有高度详细、平衡的颜色视图。该平台还使用光谱成像、机械运动控制和专有的FILMETRICS F10-RT光学等专利技术,以确保测量的一致性和可靠性。F10-RT的控制器单元提供用户友好界面、自动数据采集和存储以及自定义命令。它配备了触摸屏显示屏和易于使用的旋转选择器,以允许快速和精确的选择。这台机器被描述为具有非常短的周期时间,因为它同时感应两层和厚度。基于PC的FILMETRICS F10-RT软件套件是该工具最先进的模块。它包括对各种应用的支持,如胶片分析、横截面扫描、地形和成像。该软件支持控制器单元并允许精确的晶圆特性。此外,该软件还配备了傅立叶变换红外(FTIR)选项,用于快速、精确地测量晶圆的物理特性。F10-RT资产特别适合用于半导体生产和质量控制。其敏感的非接触检测功能使模型能够精确测量单层和多层晶片上的各种属性。此外,它的性能和数据采集能力确保生产产量保持稳定,并且晶片满足严格的制造要求。
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