二手 FILMETRICS F10 #293626260 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293626260
优质的: 2016
Thin film analyzer
Part number: 205-0284
Thickness range: 0.2-15 ym
Wavelength: 380-1050 nm
Standard spot size: 100 ym
2016 vintage.
FILMETRICS F10晶圆测试和计量设备提供了关于CMP前、CMP后和蚀刻后结构的全面数据，产生了优越的工艺控制和改造。该系统采用单波长光谱椭圆偏振法同时测量薄膜厚度、折射率和薄膜在晶圆上的光学常数。可测量低至0.3nm的电介质膜的厚度和光学常数；对于金属膜,可以测量厚度降至1nm。该单元精度高、可重复，分析可重复性小于2%，厚度可重复性为0.5nm。FILMETRICS F 10采用非接触式监控模式，允许来自被测试材料表面的无损反馈。F10还提供实时反馈，允许登记测量结果并自动就地报告，从而减少了耗时的实验室测量结果。其广泛的测量范围使F 10能够测量一系列由电介质、氧化物、氮化物、金属氧化物、金属氮化物和金属制成的薄膜，具有各种厚度和成分。本机可容纳直径达150毫米、入射角不同的基板。随着时间的推移,可以跟踪和跟踪扫描电荷表面的分子和分子,从而实现高级过程监控和过程调整。此外，FILMETRICS F10由于其优越的信噪比，特别适合粗糙的表面，如CMP层上的表面。FILMETRICS F 10提供用户友好、直观的GUI,使用户能够快速设置并开始运行测量。可以提供多种输出格式以进一步简化分析过程。此外,该工具还附带21C和ISO 17025/17034认证,使其符合规范行业的要求。综上所述，F10晶圆测试和计量资产能够对晶圆和薄膜结构进行详细的测量和分析，产生优越的工艺控制和转化。其准确性、可重复性和非接触式监控能力，以及广泛的相关认证，使其成为晶圆和薄膜测控各个方面的完美工具。
还没有评论