二手 FILMETRICS F20-UV #293592882 待售

FILMETRICS F20-UV
ID: 293592882
Thickness measurement system.
FILMETRICS F20-UV晶圆测试和计量设备具有光学成像、计量和晶圆级表征功能的独特组合。该系统设计用于半导体晶片上薄膜的高通量、自动化测试和计量,用于器件表征或工艺开发。它能够测量各种格式的半导体晶片上薄膜的亚微米、微米和纳米厚度变化,以及任意图桉大小、形状和不透明的掩模。FILMETRICS F 20 UV包括一个配置有专有的非干涉光谱反射仪和成像机的波长可调谐激光单元,可以快速测量不透明膜结构的厚度。这种反射计和成像工具可以在可见光谱和紫外线光谱范围内工作,提供适合各种程序的灵活解决方桉。此外,资产采用高功率、高分辨率成像技术检测低采样频率,产生缺陷信息。该模型还包括一个计算机软件包,这是一个易于使用的界面,非常适合快速高效地分析晶圆数据。此软件包旨在提供直观的数据图形表示,使用户能够监视、比较和突出感兴趣的功能。该软件还具有2D和3D图形功能,可提供高级数据分析和可视化。在性能方面,F20-UV可提供高分辨率、快速的测量速率,以及各种晶圆类型的薄膜厚度和粗糙度的可重复性。其准确性和易用性使其成为设备表征和工艺开发的理想选择。该设备也适合恶劣的环境操作,适合广泛的应用。总体而言,F 20紫外线晶片测试和计量系统是一个先进和可靠的单元,旨在促进半导体晶片上薄膜的高通量、自动化测试和计量。该工具结合了波长可调谐激光机器、成像技术和用户友好软件,提供了一个全面的解决方桉,便于对晶圆上的薄膜厚度和粗糙度进行精确和可重复的测量。
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