二手 FILMETRICS F20-UV #293820561 待售

FILMETRICS F20-UV
ID: 293820561
Thickness measurement system.
FilmTronics FILMETRICS F20-UV是一种先进的晶圆测试和计量设备,专为要求最苛刻的晶圆制造过程而设计。它提供了高速、高灵敏度、高精度的组合,用于测量高达1微米厚的薄膜,并且可以测量低至0.08微米厚的透明薄膜。FILMETRICS F 20 UV提供了广泛的功能,包括大的动态范围、超高的分辨率、快速的扫描速率以及用于生成详细表面地形图的强大分析软件。它还具有可变焦平面和步进概念,以确保最高的精度.为确保结果可靠,F20-UV采用了一种独特的表面计量(SM)技术,该技术结合了光学显微镜、光谱仪和表面剖面仪,在广泛的应用中提供了前所未有的精度。这种技术使用SMM的大功率透镜来照亮样品表面,而光谱仪则以多角度测量透射或反射信号,来计算薄膜厚度。系统可以测量垂直和横向尺寸,以及定向纹理,如条纹和缺口宽度。其测量学软件能够通过剖面形态学和倾斜角分析模块对三维曲面进行分析。软件套件还提供高级数据可视化、功耗相关性、晶粒大小、数量和粒度。此外,还有一个集成的光电单元可用于进一步加强表面地形分析。这台机器对于测量光学常数和薄膜厚度以及提供样品表面的微观图像非常有价值。F 20 UV直观的用户界面提供了易于阅读的显示器和直观、分步操作。操作员能够将收集到的所有数据(包括地图和表)存储到一个完全安全的数据库中,从而允许在同一晶圆上重复获得结果。FILMETRICS F20-UV还配有各种胶片样品支架,以容纳所有类型的基材。总体而言,FilmTronics FILMETRICS F 20 UV是一种可靠、坚固、高精度的工具,可对薄膜和表面进行可靠的测量和分析。它的速度、精度和分辨率相结合,加上直观的操作,使其成为快速可靠的晶圆计量的理想选择。
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