二手 FILMETRICS F20-UV #9205805 待售

FILMETRICS F20-UV是半导体器件生产过程中用于进行无损表面测量的晶圆检验测量设备。它是一个全自动系统，能够扫描200毫米和300毫米晶圆，提供高达200毫米/秒的扫描速度。FILMETRICS F 20 UV使用光学和UV可见光的组合来检查晶圆。在光学照明模式下，该单元使用白光和可变角度3D测量来识别整个晶片的平坦度、晶片表面形状和表面步长。在紫外线可见照明模式下，机器使用紫外线、蓝色和红外线来识别晶体结构界面、厚度、薄膜粗糙度和折射率，低至2nm分辨率。F20-UV还具有用于晶圆映射、缺陷检测和光学性能测量的高级软件。软件的自动减法工具能够准确地进行表面比较和识别晶圆上的局部缺陷。该工具还提供快速的数据捕获和分析,不需要调整。此外，F 20 UV包括包括手动、半自动、全自动腔室涡轮分子泵在内的先进计量工具，用于精确的浓度测量。该资产集成了数据显示和可视化工具,用于数据记录、分析和报告。FILMETRICS F20-UV是一个全面且经济高效的解决方桉,非常适合高吞吐量晶圆生产。它旨在提供准确可靠的结果，并允许有效的过程控制和质量保证。该模型非常适合实验室和制造设施,提供易于使用、直观、快速的检验和测量设备。