二手 FILMETRICS F3 #293593195 待售

FILMETRICS F3是设计用于半导体制造作业的通用晶圆测试和计量设备。该系统提供快速、高分辨率的成像、多用途的表面测试和高级统计分析,使其成为当今高级流程中的宝贵工具。F3是一个紧凑且高度自动化的单元,允许快速设置和高效运行。其灵活的体系结构允许与各种现有设备和协议无缝集成。它有很大的测量面积，允许完成半导体制造客户经常需要的所有标准测试。此外,FILMETRICS F3还能够测量分辨率低至0.1微米的小型特征或结构。F3具有先进的成像机器,可实现同步聚焦图像和事件,以及自动校正处理和映射相关数据点的能力。该工具的内置统计分析功能允许在处理后比较晶圆地形。此外,FILMETRICS F3能够执行各种表面测试过程,例如电气测量、电容电压测量和物理参数扫描。该资产配备了集成真空卡盘，以简化扫描基板的对准，以及加热卡盘，用于精确测试敏感设备。F3先进的计量模型提供了一套综合的半导体过程控制工具，允许晶圆地形、电子器件和其他物理特性的精确表征。当与自动化数据收集相结合时，该设备为自动化晶圆和设备测试提供了强大的解决方桉。