二手 FILMETRICS F50 #9256974 待售
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ID: 9256974
晶圆大小: 8"
Film thickness measurement system, 8", parts machine
Thickness range: 20 nm - 70 µm
Wavelength range: 380 nm - 1050 nm
Standard wafer reflectance
PC Missing.
FILMETRICS F50晶圆测试和计量设备提供了一套高度精确的原位晶圆测试和计量套件，用于生产监测、故障分析和研发。FILMETRICS F 50结合了先进的光学、先进的运动和定位控制、最新的计量技术，以及在加固单元上实现的直观的用户界面，在工业标准晶圆制造设施中运行。F50的核心是FPC（FILMETRICS Process Control）光学测量技术，它测量关键晶圆参数如步高、反射率、偏振、材料组成和其他关键特征。FPC系统通过其先进的光学器件提供极为精确的数据，其中包括衍射光栅、光纤束和光电二极管阵列。F 50的运动控制单元提供精确和可重复的级运动，以确保在一定范围的晶圆尺寸和平坦度的精确测量。整个运动控制机具有防振阻尼功能，使运动过程中的振动最小化。FILMETRICS F 50是完全自动化和可调的，允许工艺工程师在生产或研发期间调整性能以获得最佳结果。用户可以通过其10.4英寸触摸屏/键盘和图形用户界面远程操作FILMETRICS F 50。工具的用户友好性,加上其精确度,可减少收集数据时出现的错误和节省的时间。F50晶圆测试和计量资产是晶圆测试和计量的通用且高度可靠的工具。F 50注重准确性、可重复性和鲁棒性，使其能够对所有类型的晶片进行原位性能评估，而不会干扰现有的工艺。配备了先进的光学、FPC技术和直观的用户界面，FILMETRICS F50为晶圆测试和计量提供了简单、可靠、准确的解决方桉。
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