二手 FILMETRICS F50R #9396056 待售
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FILMETRICS F50R晶片测试和计量设备是一种高度先进的半导体设备,设计用于在亚微米级对晶片上的薄膜图样进行非接触、无损格式测量,精确度令人印象深刻。它利用高精度的激光光学传感器快速扫描测得的晶圆表面,同时补偿由于不完美的平面度和晶圆曲率引起的运动误差。强大的电动XYZ级进一步确保了稳定的平台进行一致的扫描,提高了结果的可靠性。随附的软件FJX-Scan易于使用,并提供全面的数据分析和报告功能。它用于测量晶片上的特征,如线宽、厚度、地形、高度和倾斜角。软件的高对比度图像处理算法还允许对多层薄膜进行精确的厚度测量。此外,该系统还配备了用于拍摄图像的集成摄像头,有助于标本识别和可追踪性。该单元的核心光学器件包括一个半导体级显微镜透镜以及一个可调谐波长和功率的可调激光二极管模块。μ具有120毫米的视野和快速的扫描速度(高达44 F50R m/s),是高吞吐量应用程序的绝佳选择。它具有多种放大倍数设置,最高可达到x 50,从而提高了精度至关重要的工业应用的测量精度。FILMETRICS F50R的其他显着特征包括自动像素大小调整、集成2D缝合和峰值检测算法。机器的许多功能可以从包含的前面板控制垫控制,而一些更高级的功能,例如用户定义的校准数据,可以通过外部设备控制。工具尺寸为335 x 389 x 309 mm,使其紧凑,适用于许多不同的工作环境。总体而言,F50R是一个全面、经济高效的解决方桉,用于精确、高效的晶圆测试和计量。其可靠的性能、自动化的控制和数据报告功能使其成为任何工业或研究应用程序的绝佳选择。
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