二手 FILMTEK 2000M #9329120 待售
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ID: 9329120
Benchtop metrology system
For NIKON Eclipse L200
Measurement spot sizes: <2µm
NIKON LHS-H100P-1
Objectives:
NIKON LU Plan 10x / 0.30, 50x / 0.55
CF Plan 100x / 0.73
VIEWERA TFT LCD Monitor, 17’’
DELL BOSTRO Desktop
Joystick
Stage, 8".
FILMTEK 2000M是一种设计用于快速识别晶圆缺陷的高精度晶圆测试和计量设备。它具有独特的多格式托盘测试系统,可同时支持多达10个晶圆(和多达300个测试站点),并且无需手动交换对象。2000M具有各种先进的晶片测试功能,包括光抗蚀剂测量、迭加测量、薄膜厚度测量、自动对焦和临界尺寸(CD)测量。它可以测量范围广泛的晶圆材料,包括多晶硅、绝缘子硅(SOI)、的、铝。FILMTEK 2000M的测量范围为0.03微米(2微米分辨率),线性度为0.5%,具有大多数晶圆检验和计量任务所需的精度。2000M支持许多插件,包括用于晶圆缺陷分析的强大数据分析包。它与一个全面的软件套件集成在一起,允许用户开发和运行各种自定义测试并快速分析结果。它还包含一个3 D光学单元,实现卓越的分辨率和卓越的图像质量。这台机器包括一个触摸屏控制面板与直观的用户友好菜单和显示器,提供了一个出色的概述晶圆表面。其先进的硬件和软件体系结构支持高成像和测量速度,而其先进的信号处理算法则确保了准确的结果。FILMTEK 2000M是为关键任务应用程序的可靠性而设计的。它具有坚固的结构、抗振动和抗冲击部件以及闭环伺服电机轴驱动器。它还设计用于处理高度自动化。该工具是低声静音和热签名几乎不存在,确保用户在长时间的测试期间的舒适性。2000M是最先进的晶圆测试和计量系统之一。其优异的性能和准确性使其成为从工艺开发到泄漏测试再到半导体晶圆制造等广泛应用的理想解决方桉。
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