二手 FISCHER Betascope #9246202 待售

FISCHER Betascope是来自FISCHER Instruments的晶圆测试和计量设备。它旨在测量和分析与薄膜和晶圆计量有关的各种参数。它具有高分辨率光学干涉仪和光探测器的优点，测量精度中位数小于1纳米。该系统能够检测晶片表面的各种特征,包括层厚度、表面平面度、特征几何形状和污染物。该单元采用高级算法来检测晶圆表面的形状和其他特征。它还利用各种照明方法，如暗场成像、明场成像、对比度成像和光学探测。机器包括一个光衍射单元，用于测量来自入射光的干涉图样，以测量晶圆表面的性质。该工具包括图像处理软件，用于图像增强和自动分析，可以实时完成。Betascope还提供了广泛的计量选项，包括非接触式表面层测量、非接触式形状分析、非接触式数值形状分析以及先进的模模面特征测量。该资产还可用于晶圆上三维特征的表征，以提高产量。此外，该模型还包括一个强大的自动视觉检查设备，用于检测晶圆上的任何缺陷或其他表面异常。该系统还包括一个自动化晶圆处理单元与一个集成的机械臂和陀螺仪。这使机器能够自动移动到晶片上的任意点，在测试样品的属性时提供精确和可重复的运动控制。FISCHER Betascope工具为数据收集、存储、处理和报告提供了多种选项。资产的用户界面易于使用,可以定制以满足任何客户的特定需求。收集的数据可用于晶圆的物理性质和性能的分析、优化和质量控制。