二手 FORCE Step-4 #9059527 待售

FORCE Step-4是一种晶圆测试和计量设备，提供先进半导体器件的综合物理、电气和光学分析数据。该系统主要由精密运动控制单元和先进计量机两个部分组成。运动控制工具由控制位置、旋转和大小的十个三轴级组成。它可确保精确的对准和扫描,以及在测量单个样品中的多个参数的整个过程中的鲁棒性处理。先进的计量资产包括电子束显微镜、激光扫描单元、电子激光探测仪、光谱仪和自旋涂层模块。电子束显微镜提供了被测晶片的高分辨率图像，可用于测量表面地形和检查缺陷。激光扫描单元允许快速的表面映射和表面特征的完整表征。电子激光剖面仪可实现亚微米测量精度，特别适用于表征细应力梯度或提高表面图的分辨率。光谱仪可以表征晶圆表面的不同材料层。最后，使用自旋涂层模块将均匀的材料层施加到晶圆上，从而对这些层进行进一步的分析。此外,Step-4还包括许多软件功能,可以对晶片进行自动化、准确和可重复的分析。这些工具的范围从基本的统计分析工具如数据过滤到与参考数据库相关的复杂分析。软件高效、用户友好，具有现代化的图形界面和优化的测量程序。FORCE Step-4是为晶圆测试和计量结果的最大可靠性和重复性而设计的.它符合数据质量控制的行业标准，可以很容易地整合到任何生产线中。这种型号是半导体高性能器件开发和生产领域的一种强大而必不可少的工具，已经在全球各大行业中得到应用。