二手 FOUR DIMENSIONS 280 #9276884 待售

FOUR DIMENSIONS 280是先进的晶圆测试和计量设备。它提供了对晶圆特性的精确非接触测量，如地形、迭加、线宽、微缺陷分析、光刻、缺陷审查以及设备制造的其他关键参数。280系统为高速晶圆计量设计。它采用模块化设计,具有多光束光头、多反射镜光学和高分辨率成像功能,能够满足最苛刻的测量要求。该单元在测量线宽时达到高达0.1纳米的精度，在测量覆盖层时达到高达1纳米的精度。其自动扫描模式确保了可重复的测量结果。该机的高级计量功能因其先进的软件而进一步增强。它包括将光学和SEM数据合并为一个报告的相关计量程序,以及具有Z分析和自动对焦等工具的高级错误分析。此高级功能可加快计量过程,提高测量精度。FOUR DIMENSIONS 280工具还具有与SPC系统无缝集成的功能,使操作员能够根据规格快速评估晶片并进行必要的更正。它的图形用户界面使操作员可以很容易地使用资产并获得所需的测量结果。此外，该模型的高级报警设备有助于操作员监控关键过程变量，并在出现偏差时采取纠正措施。280适用于具有高精度和高分辨率成像功能的自动化晶圆测试。它的模块化设计使它能够满足一系列晶圆测试要求，而其强大的计量功能确保准确和可重复的测量。该系统先进的软件和直观的图形用户界面使操作员的工作效率易于使用和最大化。FOUR DIMENSIONS 280是分析复杂晶圆特性的高效可靠的计量单元。