二手 FOUR DIMENSIONS CV92-A #9398905 待售
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FOUR DIMENSIONS CV92-A是一种晶圆测试和计量设备,使用光谱椭圆偏振(SE)对表面和材料进行先进的3D计量。系统结合三个轴,在扫描过程中测量一个欧拉角的4D矢量(滚动、俯仰和偏航)。这个4D矢量提供了对表面地形和其他材料特性的高度精确的测量。FOUR DIMENSIONS CV92A模块允许用户测量厚度、电阻率、表面粗糙度和光学色散特性等晶圆尺寸。它有四个光学传感通道-两个用于成像,一个用于光谱学,一个用于偏振。这些由800万像素的CMOS传感器、大功率LED光源和宽带UV光源供电。CV 92A还包括自动对焦校正和高精度Z轴控制,用于扫描815 mm的距离。还包括自动化的样品交换和样品处理系统,以提高测试效率。CV92-A设计用于半导体和FPD(平板显示器)行业,以及医疗设备、研究和太阳能电池制造等一系列市场。通过使用SE技术,不仅能够精确测量样品的局部几何形状,还能获得有关介电常数、光学各向异性、化学成分等材料性质的特定3D信息。该单元符合SEMI-P38和SEMI-M1标准,可通过选择专有软件包用于复杂的数据分析。这些软件包使用户能够快速捕获和分析复杂的数据集。为确保可靠的精度和可重复性,FOUR DIMENSIONS CV 92A配备了自动级校准和对准功能。它具有多个温度控制阶段,提供热稳定性和准确性,并且能够处理各种晶圆尺寸。机器还包括直观的用户界面和全面的报告功能,允许用户快速解读数据和查看结果。CV92A是一种先进的晶圆测试和计量工具,适用于半导体和FPD等行业,它结合了多种高规格特征,可精确测量表面地形、电阻率、表面粗糙度和光学色散。此外,用户友好的功能和自定义软件包可实现复杂的数据采集和分析。
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