二手 FOUR DIMENSIONS FPP 100 #9123948 待售
网址复制成功!
单击可缩放
FOUR DIMENSIONS FPP 100晶片测试和计量设备是一种多功能设备,利用专门的硬件和计算机软件相结合,测量晶片和其他材料在纳米尺度上的特性。该系统能够执行缺陷检查、厚度测量、表面地形和临界尺寸(CD)测量等任务。FPP 100由高分辨率显微镜、精密的扫描阶段和可以针对不同基板轻松优化的测量平台组成。FOUR DIMENSIONS FPP 100的核心是一台高分辨率显微镜,它是该单元的骨干,配有自动切换机。显微镜可以在两个不同的放大倍数之间快速切换,从而确保整个晶片被快速高效地检查。此外,显微镜还提供了高达+/-0.5µm分辨率的图像,其清晰度足以正确评估远距离分布。为了精确测量晶片的表面地形,FPP 100利用了一个称为XYZ扫描的复杂扫描阶段。该工具允许晶片在x、y和z方向上精确移动,确保地形以微小增量精确采样。此外,扫描资产使用相对较低的放大倍率,使得驱动力保持较低,从而降低了测量过程中的损坏风险。最后,配备了精密的测量平台,FOUR DIMENSIONS FPP 100能够精确、高效地测量晶圆的横向和垂直特性。该平台配备了暗场/亮场视觉检查、透射电子显微镜(TEM)、光谱椭圆偏振等专门工具,以及其他各种技术。它甚至具备使用专门算法进行缺陷检查的能力。综上所述,FPP 100晶片测试和计量模型是一种强大的设备,利用复杂的硬件和软件来测量晶片和其他材料的特性。通过使用专门的成像和扫描系统,FOUR DIMENSIONS FPP 100能够精确测量晶圆表面地形、厚度和临界尺寸。此外,该设备还配备了各种测量和检查技术,使其成为能够处理各种纳米级测量任务的通用工具。
还没有评论