二手 FOUR PROBES TECH RTS-8 #293624729 待售
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ID: 293624729
优质的: 2016
Resistivity measurement system
4-Point probe
Resistivity: 10^-5 - 10^5 Ωcm
Rectangular wafer resistance: 10^-4 - 10^6 Ω
Conductivity: 10^-5 - 10^5 s/cm
Poly diameter:
Type S-2A: 140 mm X 150 mm
Type S-2B: 200 mm X 200 mm
Type S-2C: 400 mm X 500 mm
2016 vintage.
FOUR PROBES TECH RTS-8是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体和其他相关行业的水平和垂直晶圆测试。该系统配备了四个探头,使各种测量成为可能,包括层厚度测量、接触电阻测试、表面形态分析、材料成分分析、装置漏电电流测量等。它还提供了一套全面的电气和光学测试工具,可以与四探头单元集成。该机器具有多种机械和操作特性。它配备了一个高精度、四轴晶片级,在x、y和z平面的行进范围高达100 mm,以及一个倾斜范围高达± 10°。该级可以在水平方向和垂直方向上进行电动机驱动,并具有全范围的速度控制。探头精确地安装在滑轨上,以便进行可重复和精确的样品定位。它还包括用于样品观察和对准的高功率玻璃显微镜。该工具具有两个独立的四探针测量卡:一个用于高精度测量的单通道卡,如板材电阻测量,以及一个用于并行测量的四通道卡,其带宽不超过四GHz。两卡均具有各种信号调节功能,如自动零、偏移、增益和低通滤波器,以提高精度和重复性。这些卡还能够同时控制多达16个探测器,从而能够对小型样品进行多点测量。该资产配备了一套用于成像和分析的高性能光学器件,包括CCD相机、亮场照明器、偏振显微镜和彩色成像模型。它还提供高达50MHz的实时采样率,能够以最高的准确性和可重复性快速测量。该设备还具有全面的软件开发工具包(SDK),包括图形用户界面(GUI)以及几个可编程API。SDK提供对系统功能的扩展访问,并允许用户创建针对其项目需求定制的自定义解决方桉。RTS-8是一个可靠可靠的晶圆测试和计量单元,旨在满足半导体和相关行业最苛刻的要求。它为晶圆测试、层厚度测量、接触电阻测试、材料成分分析、设备泄漏电流测量等提供了一整套工具和功能。该机集成的光学、四探针测量卡、实时采样率和全面的SDK使其能够提供准确可靠的结果,让用户自信地开发和优化自己的产品。
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