二手 FRT MicroProf #9394687 待售
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FRT MicroProf是一种高精度晶圆计量和测试设备,旨在测量和评估与高级材料相关的各种晶圆参数和参数。它具有全方位的分析系统,提供亚微米精度的晶圆测量,以满足复杂的测试和验证操作的需要。MicroProf系统以FRT先进成像技术为基础,在厚度、粗糙度和现有缺陷等晶圆参数的测量上实现亚微米精度。它能够在一系列不同的基板材料上成像参数,包括半导体晶片、平板显示器、光掩模和医疗设备基板。它还作为测试和开发新材料的先进平台,为了解材料的微观结构和物理特性提供了一个测试环境。FRT MicroProf单元可以检测、表征和测量各种计量和缺陷参数,包括线宽、步长、功绩、粒径、缺陷大小和密度、临界尺寸、蚀刻深度和均匀性以及迭加测量。它与用户现有的半导体晶圆加工机高度集成,提供实时数据传输和映射,以及简化多晶圆数据分析的数据挖掘软件。MicroProf利用计算机自动化光学工具,包括图像采集、处理和分析组件。其快速扫描功能以及自动聚焦和自动投影功能可快速提供精确的测量结果。它还具有成像、照明和软件技术方面的最新进步,使资产能够检测小特征或分析来自多个晶圆的复杂数据。FRT MicroProf模型的高级软件使用户能够在整个晶圆表面执行晶圆映射。它在同步过程中测量多个晶片的能力最小化了晶片之间的参考不对齐,使其效率很高。MicroProf设备还支持远程处理,为晶圆处理和吞吐量提供了出色的灵活性。最后,系统利用样品独特的光学特性,进一步提高测量精度和可靠性。高精度测量和优化成像可以准确解释测量的参数。而且,成本效益高的设计使得FRT MicroProf成为市场上领先的晶圆计量和测试解决方桉之一。
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