二手 FRT MPR 200 #293607164 待售

FRT MPR 200
製造商
FRT
模型
MPR 200
ID: 293607164
Measurement system.
FRT MPR 200是一个高度先进和高效的晶圆测试和计量系统。它可以提供完整的表面和缺陷测量,具有卓越的精度和可靠性。该系统配备了独特的双发射探测器,增加了灵敏度,最大限度地提高了测试和测量性能的速度。MPR 200配备了一套功能强大的软件流程,用于分析、检查和测试半导体晶片上的薄膜结构和特性。其自动检测算法可以识别产量限制缺陷,并为测量掺杂剂剖面数据和厚膜提供最大灵敏度。其自校准和自校正过程进一步缩短了数据处理时间。FRT MPR 200使用非接触式检测方法,利用自动探头托架和根据需要定位和扫描样品的样品运动阶段。MPR 200可以发现随机、反复、线对线的缺陷。它具有低噪声、高精度的亚微米缺陷检测,甚至是最小的线宽偏差。FRT MPR 200在测量金属、多硅和氧化膜厚度、掺杂剂浓度和临界尺寸方面也提供了精确和可重复的精度。MPR 200通过其精确的测量和多重缺陷检查功能,促进改进过程控制和产品质量。它还提供了特殊的推论数据,以帮助分析、故障排除和调试过程。总体而言,FRT MPR 200是一个可靠而强大的晶圆测试和计量系统,提供无与伦比的精度和速度。其先进的特性和强大的检测能力可用于检测和表征多种缺陷和材料,以及精确测量薄膜厚度、掺杂剂浓度、临界尺寸和其他特性。它将自校准和自动校正过程相结合,确保数据处理时间保持在最低限度,并且其非接触检测方法提供了卓越的准确性和可靠性。
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