二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L C2C #293760135 待售
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FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L C2C是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体工业。它能够对晶片上的器件在短波长（可见）和长波长（红外）范围内进行光学表征。该系统包括高分辨率光学显微镜、扫描电子、数据处理和存储以及高精度角对准和位移（水平）级。光学显微镜配备了两条截然不同的光路，一条用于可见范围，另一条用于红外。每条光路都有多个镜头元件，组合放大倍率高达1000倍。显微镜可以测量器件的几何尺寸、物理性质、电性能、表面纹理、薄膜厚度等特性。可见路径还配备了集成的自动对焦单元，以确保最佳图像分辨率。扫描电子设备能够检测和数字化光电二极管的信号。然后对信号进行处理，生成晶圆器件特性的高精度图。扫描功能包括块扫描、分布扫描、区域扫描和全局扫描。数据可以导出到PC进行进一步分析,也可以在集成设备分析软件中使用。FSM配备了高精度的角度和位移级来定位镜头和运动部件。这些级使用XYZ驱动机器来精确调整镜头和被测试设备之间的距离和角度。该工具还包括一个用于自动对准晶片以进行统一测试的平整楔子。FRONTIER SEMICONDUCTOR的设计考虑到了方便和安全。它具有一个集成了用户友好控制的控制和分析软件，一个用于直接图像采集的自动对焦功能，一个事故预防机制，以及一个500W的卤素灯，可以在降低功耗的情况下提供高达30分钟的不间断照明。总体而言，FSM 128L C2C是一种综合性晶圆测试和计量资产，旨在提供半导体行业所需的快速、精确和可靠的结果。它具有光学诊断、扫描电子、数据处理和存储、高精度阶段和自动对焦功能以及用户友好的控制和安全机制。FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR可用于测量器件特性，如几何尺寸、物理性质、电气性能、表面纹理、薄膜厚度等，具有较高的精度和可重复性。
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