二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L #293595238 待售

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L是专门为半导体制造工艺设计的晶圆测试和计量设备。该系统利用全孔径成像反射计，利用最新的溷合扫描技术，提供了优异的分辨率和合理的精度。该单元可用于工艺开发、生产、工艺表征和控制。它具有亚微米分辨率和高度可重复、自动化的光掩模对准过程室、关键光刻参数和工艺优化。此外,该机器还可以处理非常小的特性、新材料以及复杂的设备尺寸和特性。该工具能够分析300多种不同类型半导体器件的器件参数，包括工艺集成和器件级电气特性测量。它可以测量漏电电流、欧姆接触电阻、平带电压、电阈值等参数。FSM 128L具有振动镜和基于棱镜的光学配置,可以独立地控制点的位置和强度,从而获得极可靠的数据,精度在百万分之低（PPM）范围内。该资产具有集成的光学计量能力和专用主机计算机。FRONTIER SEMICONDUCTOR 128L还提供高级计量能力。具有在统计、元素、特征和器件层面识别、测量和研究表面缺陷结构性能相关特性的能力。通过结合晶圆表面图像分析、x-y阶段扫描、纵向扫描和横截面扫描，该模型可以为各种过程中的应用收集数据。设备极易使用和管理。它直观的图形界面允许简单而强大的系统操作。用户可以轻松地创建和删除用于晶圆测试的配方,以及访问用于查看或编辑的现有配方。128L是一个最先进的晶圆测试和计量单元,擅长工艺开发、生产、工艺表征和控制以及计量。它具有高精度、重复性、易用性和先进的计量能力,是任何半导体制造工艺的绝佳选择。