二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT #9311397 待售

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供端到端的工艺能力。该系统使芯片制造商能够识别产量损失的潜在根源并改善工艺条件。FSM 128NT包括各种硬件、软件和计量工具。该装置利用气动控制的机械级来处理直径达8英寸的晶片，同时还允许对平坦度和倾斜度进行微调。这些阶段设计为与各类测试和计量系统兼容，包括聚焦离子束、故障分析、光学检查、导电原子力显微镜和其他探测技术。该机还具有可调节卡盘温度范围的多通道浮动卡盘，可控制在1°C至300 °C，允许在测试各类材料和工艺时具有灵活性。此外，它的模版图生成器使用户能够轻松选择、编辑和保存晶圆图，并且还包括了一个样本位置识别工具，允许更高精度的快速样本处理。包含的计量资产具有集成的光学计量模型，可以使用各种激光干涉技术测量图样特征，以确定蚀刻深度、CD均匀性和其他参数。前沿半导体128-NT还提供数据相关性，以便通过多个测试和计量渠道进行检测和跟踪。这样可以确保在每个阶段捕获的数据正确关联,并且可以随时间进行跟踪。该设备还具有可扩展的平台，可以设计以满足特定的生产线要求。这减少了对单独晶圆测试和计量系统的需求，并允许用户根据需要定制和重新配置系统。128NT是一个全面的晶圆测试和计量单元，提供了达到最高产量和性能水平所必需的工具和功能。它结合了硬件、软件和计量工具,非常适合研发和生产级别的应用。