二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 500 Series #9293061 待售

FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500系列是一款先进的晶圆测试和计量设备，旨在为半导体器件提供精确的测量。其主要用途是识别和分析各种缺陷，并提供一系列预防和减少缺陷的解决方桉。该系统由一个主体、自感阶段、探针臂样品以及各种模块和附件组成。FSM 500系列的主体配备了电动XYZ级、真空单元、惯性箱、溅射机和两台样机。该级的扫描范围为25毫米x 20毫米，能够处理多达8个晶圆，尺寸从4英寸到8英寸的晶圆。真空工具允许将晶片安全安装在设备内。此外,内置惯性箱还允许精确的样品放置和方向。溅射资产然后利用稀有气体产生一层氧气薄膜，允许对晶圆进行优化测试。FRONTIER SEMICONDUCTOR 500系列的臂沿着X、Y和Z轴移动，运动范围分别为20 mm和140 mm。它们遵循动态和静态补偿预紧力模型的设计原理，以最大程度地减少摩擦。手臂还配备了空气轴承，以减少表面接触，从而减少磨损和可靠操作。500系列的模块和附件包括石英加工站、离子铣削系统和晶圆映射系统。石英加工站用于进行蚀刻、沉积、表面活化等多种化学表面处理。离子铣削设备可以进行精确的缺陷分析和离子植入。晶圆映射系统利用精确的激光单元来测量晶圆的精确位置。总体而言，FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 500系列是一款先进的晶圆测试和计量机器，旨在为半导体器件提供精确的测量。它具有主体、自感阶段、探针臂样品以及各种模块和附件，除了提供减少或防止缺陷的解决方桉外，还能够快速、准确地识别和分析各种缺陷。