二手 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR FSM 128NT #9257455 待售

来自FSM的FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR FSM 128NT设备是一个完全集成的晶圆测试和计量系统，旨在实现晶圆处理自动化，并为复杂的设备分析提供可靠的计量数据。该单元采用先进的光学技术、先进的计量技术和强大的软件算法，对具有多达128个独立工艺步骤的大型晶圆进行分析。该机器还提供直观的图形用户界面（GUI）,能够处理新的流程技术以及现有的流程技术。FSM 128NT具有多项先进的技术功能,例如双光束光刻选项、激光集成测试/计量以及自动晶圆检查。它的双光束光刻允许精确的图样精度，而它与激光集成的测试/计量则可以实现高分辨率的设备表征。此外，该工具还包括自动晶片检查功能，在进一步处理之前自动检测和隔离有缺陷的晶片。该系统先进的光学技术包括激光衍射图样识别扫描仪，可实时快速地在晶片上对沉积图样和未沉积图样进行成像。它还具有高速激光光掩模检测晶圆映射，用于精确探测临界几何形状。数字图像处理和高放大光学的应用进一步简化了图样缺陷检测和临界几何分析。FRONTIER SEMICONDUCTOR 128-NT还采用了三种先进的湿台式技术；一个自旋涂层模块，一个带综合表面分析的湿条纹模块，以及一个针头检测站。旋转涂层模块自动将一层湿涂层或干涂层自动分配到晶片表面。湿条纹模块利用高精度的运动和处理技术来进行坚固的表面分析。针头检测站用于根据晶圆上任何位置的大小和模式识别来检测针头。最后，该资产结合了强大的软件算法，使流程律师能够通过几次按键设置流程步骤的自动化序列。软件对晶片进行深入分析，并提供准确的计量数据，快速可靠。它还结合了用户友好的图形用户界面，使用户可以很容易地设置晶圆进程和分析数据。FSM FSM 128NT具有所有这些功能,是制造设施的理想解决方桉,需要通过自动晶圆处理获得可靠的结果。