二手 GEMETEC Elymat III #9137889 待售
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ID: 9137889
晶圆大小: 12"
Electrolytical metal analysis tool, 12"
Measurement precision diffusion length: 5% Over 10 repeated measurements
Measurement accuracy diffusion length: 10% Compared with similar techniques
Laser beam scans across silicon wafer immersed electrolytic cell (Dilute HF)
With applied voltage and resulting diffusion current measured
Measurement modes: BPC & FPC
Diffusion current decreases due to partial recombination diffusing carriers
Measuring different laser intensities allows iron to be identified.
GEMETEC Elymat III是一种晶圆测试和计量设备,旨在增强晶圆检测和生产过程控制。它使用户能够精确准确地测量晶片的关键电气、物理和尺寸参数,从而能够对晶片中的每个设备进行详细检查。通过自动化和非接触式光学制图,实现了全晶圆成像和数据提取。该系统采用先进的单色数字成像,为用户提供极其精确的成像分辨率。机械平台允许以各种配置进行晶圆扫描。该单元与宽范围的晶圆尺寸兼容,包括150 mm、200 mm、250 mm和600mm。此外,它的自动模式检查功能确保用户能够快速准确地测量晶片上的任何打印特征。Elymat III的核心是其相机单元,它采用了先进的基于光栅的成像技术。这台机器能够测量晶片或其他高分辨率材料上的任何特征。基于光栅的成像还允许电气设备测试,支持各种设备类型,如网格、标准单元和高密度结构。该工具的另一个关键特征是其非接触式光学映射。这项技术能够在几分钟内完成全晶片成像和数据提取,为用户提供对整个晶片的准确评估。非接触式光学映射还允许用户快速、轻松地验证良好特性的存在、检测缺陷以及识别电耦合问题。GEMETEC Elymat III为晶圆上的每个特征提供准确一致的测量。它支持广泛的电气和物理参数,如电阻率、电容和介电常数。该资产还提供3D-profile特性和污染监测,使用户能够快速优化工艺条件,最大限度地减少晶圆上的污染。总体而言,Elymat III提供晶圆测试和计量功能,具有可靠的准确性和可重复性。其广泛的特点,加上其非接触式光学制图技术,使其成为加强晶圆检测和过程控制的理想模型。
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