二手 GOM ATOS III Triple Scan #9278050 待售

GOM ATOS III Triple Scan是一款领先的晶圆测试和计量设备，用于全球工厂的先进半导体工艺。它利用一个定位系统上的三个不同的光学三角测量传感器,以一个快速运动的方式扫描一系列不同物体的三维表面信息。该单元为高端晶圆测量提供高度精确的3D图像和测量,包括薄晶圆、5um以下的特征大小和大于1：20的长宽比。GOM ATOS Triple Scan是世界上第一台提供这种精度水平的集成晶圆测试和计量机器。该工具还具有模块化硬件和软件平台,用于准确可靠的3D数据收集。它提供了一个大的测量字段,具有自动对齐、实时位置测量功能以及定制配置中的高度灵活性。此外,集成视觉资产在一次扫描中测量视野的x-y偏移。GOM ATOS Triple Scan还配备了高级软件功能。GOM专有的ATK软件支持快速数据处理、多传感器同步和多传感器注册。该模型还附带了易于使用的软件和直观的用户界面,以及支持的各种数据格式,可用于进一步分析。总体而言，ATOS III Triple Scan是一款功能强大且可靠的3D晶圆测试和计量设备。它提供了薄晶片的可靠和精确的表面测量、低于5um的特征尺寸以及大于1：20的长宽比。GOM ATOS Triple scan具有强大的硬件和软件功能以及可定制的功能,是高级晶圆检查和测试的理想选择。