二手 HANRA HRI 580L #293635047 待售

HANRA HRI 580L是一种先进的晶圆测试和计量设备，用于半导体工业。它集成了最新的光学、机器视觉和机器人技术，以高精度和精确度检查和加工晶圆表面。该系统能够测量半导体器件制造中使用的各种材料的各种特性，如反射率、表面平坦度、轮廓、厚度和掺杂浓度。HRI 580L由刀具底座、晶圆操作工具和图像分析单元组成。刀座配有旋转定位台，能够精确定位晶圆，连续运动高达1度旋转。它还包含X-Y-Z轴，允许精确的晶圆对准，以及一个晶圆冰球来固定和移动晶圆。晶圆操纵工具用于在反向散射电子成像机上精确移动和操纵晶圆。图像分析工具包括光学显微镜、荧光显微镜和激光干涉仪，用于测量表面平面度、掺杂剂和表面地形。HANRA HRI 580L提供精确测试、映射和成像功能。资产配备了全自动校准，能够进行高精度的测量和处理。光学显微镜和激光干涉仪测量晶圆表面的反射率特性，而荧光显微镜则能对掺杂浓度进行成像。模型的映射功能使拍摄多个高分辨率图像成为可能,从而可以对晶圆表面进行详细分析并测试缺陷。HRI 580L还提供数据采集和分析功能。它可以从多个来源获取和分析各种数据，包括波形、图像和统计分析。用户友好的软件支持数据同步,这对于过程控制非常有用。软件还可以存储数据供以后使用。HANRA HRI 580L是一种先进的晶圆测试和计量设备，提供精确准确的测量和处理能力。它具有自动校准系统、光学显微镜、激光干涉仪、荧光显微镜和自动制图。该单元可以从多个来源获取各种数据，从而可以进行详细的分析和过程控制。