二手 HANRA HRI 580L #293635049 待售
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HANRA HRI 580L是一种专为表征半导体材料而设计的晶圆测试和计量设备。该系统具有独特设计的光学显微镜、激光扫描显微镜和可自动测试晶片的写入站。该单元适用于纳米电子器件的纳米级观测,测量地形、电性能等。激光扫描显微镜(LSM)模块利用光学显微镜结合激光光学测量地形,允许在大面积图像上低至1nm的分辨率。这台机器能够识别晶片缺陷和监测表面形态.LSM还通过使用激光定位技术确保扫描图像包含精确的坐标。HRI 580L的自动写入站无需手动操作即可实现高度精确的写入任务。它使用与所需写入轨迹对齐的可校正射流,并且可以达到最小微米精确写入分辨率。该写入站支持晶片级自动化任务,如地形分析、迭加校准和电气特性分析。HANRA HRI 580L专为高端测试和计量应用而设计,并提供了此类用途所需的所有功能。它采用集成的触摸面板界面和确保准确性和可靠性的高规格组件。该工具的工作区域直径最大为10英寸,允许较大任务的可扩展性。此外,资产具有较大的动态范围,允许更大的灵活性和应用范围。总体而言,HRI 580L是一个专门的晶圆测试和计量模型,设计用于表征半导体材料。该设备由设计独特的光学显微镜、激光扫描显微镜和自动书写站组成。这种特性的组合使得能够对纳米电器件的纳米级观测、地形、电气特性等进行准确、可靠的测试。因此,该系统是一个高端解决方桉,适用于广泛的晶圆测试和计量应用。
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