二手 HDI IPS-6000 / SRA-FA #128060 待售
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ID: 128060
Surface reflectance analyzer
Multi-channel
Full surface scans in less than 10 seconds
Patented temperature stabilized laser technology
Simultaneous S, P, Phase
Scattered light acquisition
Sub-angstrom sensitivity to overcoat and lubricant variations
Magnetic Imaging
0.1 Micron x 0.003 degree precision
3.2 Micron resolution
Air bearing spindle with integrated vacuum clamp for fast load / unload of disks
Includes:
65mm and 95mm collets for disks
Missing part:
Knob on back of analyzer.
HDI IPS-6000/SRA-FA是一种高精度自动化晶片测试和计量设备，设计用于检查半导体晶片和集成电路（ICs）是否存在缺陷和结构缺陷。该系统包括电气测试和光学检查能力，能够快速可靠地测量晶圆厚度、平坦度、图桉线性和其他重要特性。该IPS-6000采用模块化多轴设计,集成了运动传感器,并采用小巧轻巧的设计,便于安装和维护。该单元包括一台先进的运动控制机，用于在测量操作过程中精确控制舞台的扫描速度、运动范围和定位。该工具还可以配置为连续顺序测量多个晶片，从而提高精度和吞吐量。该资产利用具有先进光学器件的相机模型和高性能成像设备扫描整个晶片的缺陷和缺陷。该系统设计用于各种环境,从洁净室安装到高湿度环境。为定制测量重新配置也很容易，包括精确测量图桉和微结构的定义。除了光学检测单元外，IPS-6000还包含一台同时具有模拟和数字接口功能的电气测试机。这允许对薄膜晶体管（TFT）和其他有源矩阵元件进行电气测试,以及标准晶圆级电气性能测量。最后，IPS-6000/SRA-FA还包括用于晶片和集成电路综合评估的FA数据分析软件。该软件包括多种分析功能，包括实时缺陷检测、缺陷评估、跟踪和过程监控。该软件可针对特定客户的特殊测试和指标进行定制,使其成为质量保证必不可少的组成部分。
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