二手 HEIDENHAIN ND 281B #293643227 待售

HEIDENHAIN ND 281B是一种功能齐全的晶片测试和计量设备，利用激光干涉技术无损测量半导体晶片的局部表面特性。该系统为生成有关表面轮廓、表面缺陷和表面地形的数据提供了长期可重复性和准确性。ND 281B包括500 mm x 600 mm的高精度平移级，具有5 nm的步长分辨率，允许高精度和可重复性。它还包括一个具有亚微米范围分辨率的平面内运动单元。此外，该机器还使用工作带宽高达100 kHz的激光干涉仪进行亚微米分辨率和快速测量。该工具与各种目标兼容，如油和空气配置，与任何目标场范围兼容。对于测试运行,资产提供高达0.1 mW/cm2的高强度照明。对于扫描和计量，模型提供了三种不同的扫描方式：2D-scanning、3D-scanning和偏移扫描，可用于在特定模式内进行测量。扫描模式是用一种高级图形编程语言生成的，很容易适应不同的物理布局。此外，该设备还可用于测试多层半导体样品，并能够在高密度器件上进行标准脉冲测量。该系统的软件提供了一套全面的图像分析、数据汇总和测量工具，用于分析和解释测量中的数据。该软件还提供图形后处理功能,如曲线拟合,用于其他数据分析。此外，该软件为输入和输出提供了一个高级数据通信接口，便于与现有系统和数据库集成。总体而言，HEIDENHAIN ND 281B晶片测试和计量单元是测量半导体晶片局部表面特性的有力工具。其卓越的扫描能力和图形编程语言使高密度设备能够快速准确的测量，而其简单化的软件则提供全面的图像分析和数据汇总功能，使其适合一系列应用。