二手 HEXAGON METROLOGY Global Classic SR #9375406 待售
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HEXAGON METROLOGY Global Classic SR是一款先进的、高度可靠的晶圆测试和计量设备,旨在满足半导体制造和生产过程控制最苛刻的要求。它具有自动化功能,可提高精度和产量,直径可达300 mm。该系统具有高级计量功能,包括边缘测量、地形检查、表面粗糙度数据分析和缺陷检测。Global Classic SR由市场领先的HEXAGON METROLOGY Classic平台提供支持,该平台是针对半导体生产环境优化的一套软件和硬件。此平台提供了强大的数据处理功能,支持多个软件包以满足不同的流程控制要求。软件还包括一个强大的3D可视化引擎,让操作员对结果获得清晰的洞察力。该单元包括一个自动晶圆处理机(WHS),与标准晶圆盒兼容的转移机器人。这样可以实现精确和可重复的晶圆处理和放置。此外,该工具还提供了获取图像以及分析和存储图像的可能性。它还具有集成点云和CAD模型比较工具,可快速检测成品晶片上可能的变化或缺陷。此外,HEXAGON METROLOGY Global Classic SR包括Hexagon Correction Tool和Measurement Toolset。校正工具能够对数据进行精确校正,以确保测量精度和可追踪性精度。测量工具集可确保从晶圆中精确测量和捕获小型特征、高层结构或在线结构。Global Classic SR还具有全面的输血和输出功能。它有多种外部数据处理接口,包括USB、以太网、串行和FTP。该资产还与多种操作系统兼容,包括Windows和Linux。此外,该模型还包括User-Programmable Report作曲器,它允许轻松创建报告。可以通过电子邮件生成、打印或发送报告。增强的设备诊断、警报和远程连接可用于在线和离线服务。HEXAGON METROLOGY服务也涵盖了该系统,可以选择服务级别以确保最大正常运行时间。
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