二手 HIKE VR300DLF #9397726 待售

HIKE VR300DLF是一种晶圆测试和计量设备,其设计目的是在广泛的过程节点中提供对微晶圆特性的准确和全面的视图。该系统具有动态数字成像和尺寸测试功能，可以对每个模具进行高度精确的测量和表征。该单元实时收集和显示各种图像数据，并提供晶圆表面的数字图像以及相关的性能数据。VR300DLF允许使用高分辨率相机和两个大型基准和模具识别传感器进行自动晶片分析和探测。这项先进的技术可以识别所有流程节点的缺陷,无论其大小如何。Fidicial recognition and die data is used to create a map of the wafer and track measurements with high accuract.该机还配备了先进的高速对准工具，具有亚微米分辨率。对准资产采用双摄像头比较技术和多工具自动对焦，提高精度。这样可以与现有模具进行更精确的对齐,并在高缺陷密度应用的背景下提高精度。HIKE VR300DLF具有广泛的测试方法和性能协议。这些包括晶圆检查、扫描电子显微镜（SEM）成像、透射电子显微镜（TEM）成像、元素表征、化学机械平面化（CMP）测试、电子束测试、局部电测、X射线衍射（XRD）映射。总体而言,VR300DLF模型是一种下一代晶圆测试和计量设备,它将现有工艺节点技术的自动探测和增强与先进的图像识别、模具对准和性能协议相结合,提供卓越的准确性和结果质量。该系统非常适合高缺陷检测、故障检测和迭加对齐精度至关重要的流程节点应用。