二手 HITACHI PD 2000 #293820661 待售

HITACHI PD 2000是为半导体制造商设计的晶圆测试和计量设备，以实现最佳的工艺控制和支持产量管理。它是一种高速、精密的晶片表面检测系统，比传统方法更能准确地测量晶片表面的地形特征。单元的核心是光学；具有自动XY扫描阶段和光谱照明LED的光学显微镜。通过这种方法，机器能够从不同角度观察表面，并通过确定其阴影和强度来精确测量各种特征的高度。此外,HITACHI PD-2000还能够进行3 D成像,它可以显示地形超低粗糙度地图,从而更准确地显示线缘效果。该工具的其他特点包括高速测量模式，可以在不到50秒的时间内扫描150毫米晶圆；能够适当调整测量条件并确保结果准确性的完全自动校准资产；以及自动缺陷通知模型,可帮助减少手动标记缺陷量带来的不便。PD 2000还提供了一个全面的软件包，可以支持对三维图像的分析和对数据模式的评论，以及与现有SEMI MES和SCADA系统的接口，以集成到客户现有的设备中。总之，PD-2000提供了具有三维成像能力的高速、可靠、精确、精确的晶圆表面测量。该系统在优化过程控制和及时提供错误、故障和缺陷反馈方面为半导体制造公司提供了巨大的价值。