二手 HITACHI ZA-H200UND #9383303 待售

HITACHI ZA-H200UND是一种晶圆测试和计量设备，设计用于表征生产和制造半导体晶圆。它提供了广泛的功能，包括湿蚀刻、缺陷分析、粒子检验、LEIS（低能离子光谱）和QCM（石英晶体微平衡）。ZA-H200UND有一个直径543mm的腔室，可容纳200个晶圆。系统装有高速电动机，每分钟最高可旋转200转晶圆。高速电动机与腔室的大孔径相结合,使HITACHI ZA-H200UND能够在晶圆处理和计量过程中执行精确的测量,如临界尺寸（CD）和缺陷成像。该单位的高分辨率探测器以极好的精度和可重复性收集数据。机器还有一个运动控制模块，使用户能够将探针相对于样品精确定位。数据值可以直接从仪器中存储或打印。ZA-H200UND的高画质得到了多种高级硬件组件的支持。这包括使用波长补偿镜头，使工具能够以非常低的失真捕捉图像；一个滤色轮，允许用户匹配样品的波长，以缩小焦点，减少耀斑；和立体显微镜物镜，提供更大的景深，并允许分析显微镜下的小缺陷。HITACHI ZA-H200UND的其他功能包括自动对齐软件包,它使用户能够快速对齐和测量具有一致可靠性的多个晶片。ZA-H200UND还利用了纳米地图功能，使用户能够轻松地将测量范围缩小到晶圆上的特定区域或设备。综上所述，HITACHI ZA-H200UND是一种最先进的晶圆测试和计量资产，旨在对生产和制造的半导体晶圆进行表征。它具有高速电机、高分辨率探测器、运动控制模块、自动对准软件以及各种高级硬件组件,可为用户提供执行精确测量、临界尺寸成像和缺陷成像的能力。ZA-H200 UND的纳米地图功能为用户提供了精确缩小测量范围的能力，使其成为先进晶圆计量和工艺开发的理想模型。