二手 HOMMEL T2000 #170931 待售

HOMMEL T2000晶片测试和计量设备设计用于对直径150 mm以上的半导体晶片进行高效而有力的处理。该系统为评价半导体晶片的电气、物理和光学特性提供了准确的结果。该单元配备了中子反射计、聚焦离子束（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、光学显微镜成像等行业领先技术。T2000有一个自动化测试室，配备集成的机械晶片处理机、精密计量头和几个测量室。其设计可提供高达3.2 μ米的横向分辨率和高达1 μ米的深度分辨率。该工具还提供高吞吐量,测量周期仅为0.4秒。这意味着可以在短时间内处理数百个晶圆。利用先进的散热能力,它能够执行高达200 °C的温度循环。精确度在半导体制造中至关重要,HOMMEL T2000提供精确、深入的计量测量,测量尺寸可达500 nm的特征,即使在晶圆外围也是如此。该资产还提供了一系列软件工具,包括AutoAlign Pro、SPM Analysis算法和Image Processing软件。所有这些特征使T2000能够执行多个测试,包括CD、厚度和粗糙度测量、3D形状表征、临界尺寸（CD）测量、曲面拓扑和缺陷分析。HOMMEL T2000还提供非接触测量,用于测量和分析图像对比度、颜色和亮度。这种高效的模型适用于各种类型的晶圆样品，从机械到光学，从微电子到光学应用。内置电动工具更换器、自动对焦设备和自动样品装卸等附加功能，用于处理大批量晶圆，提高测试和计量结果的质量和速度。总体而言，T2000是一个出色的晶圆测试和计量系统。凭借其可测量的特性和高分辨率的能力，它能够提供高吞吐量的质量和精度测量。该单元非常适合半导体行业的测试和计量要求。