二手 IMS LVIS-2005 #9144063 待售

IMS LVIS-2005是一种前沿晶圆测试和计量设备，设计用于半导体制造，并基于轻型分辨率（LDR）测试模型。LVIS-2005提供了用于精确测试各种晶圆配置的最新功能。该系统能够测量一系列参数，包括模具尺寸、模角、蚀刻深度和轮廓以及晶圆厚度。该设备在基于光源的非接触计量平台上运行，内置扫描机器能够进行自动、高阶和高精度测量。该工具具有直径8英寸的光学级耦合到6轴级，这两者都能够将晶片定位在其目标值的正负1微米以内。该级能够支撑各种晶圆尺寸，从8英寸到6英寸，并且能够容纳设计小于1微米到5毫秒的晶圆尺寸。IMS LVIS-2005具有高分辨率成像资产,能够对晶片上的不同特征进行成像。成像模型包括高分辨率CCD相机、全套软件，以及大量的扫描仪器集合。它能够精确测量模具、凹坑、台阶、线宽和表面地形的高度和尺寸。该设备还配备了各种测试和计量辅助工具，以帮助确保准确性和效率。这些工具包括小型晶片的低成本验证系统、自动模式识别单元、高分辨率的过罐机、多轴作业多项式回归工具、多面谱测试模式资产和控制模型。与其他晶圆检测系统相比，TheLVIS-2005能够提供准确的数据。该设备的非接触扫描系统设计用于低功率分辨率测量，为各种晶圆类型提供了广泛的灵活性。LVIS-2005设计用于高端晶圆制造的高精度复杂测量。该单元提供了一个自动化的计量平台，以促进质量保证和产量管理。