二手 IMS LVIS #9160840 待售

IMS LVIS是由Image Metrology Systems公司生产的晶圆测试和计量设备。该系统专门测试晶圆上的微观尺度结构，并允许对其进行深入分析。专门设计用于测量III-V、SiGe和SOI器件结构的几何性质和电性能。该单元通过使用安装在精密空气轴承上的级来工作，以移动和定位样品级到特定的对准区域。一个集成的数码相机，加上专门的软件，被用来以不同的放大倍率捕捉样品的图像。然后对图像进行分析，并将其用于测量样品的特定特征，包括几何特征。LVIS能够测量各种几何属性,例如2D和3D线宽、边缘轮廓和侧壁角。它还可以测量电阻率、接触电阻、介电特性等电性能。该机还能够同时测量多个样品，这意味着它是研究应用和高吞吐量生产线的理想选择。IMS LVIS还能够执行精确的位置和方向测量,从而在测试过程中对样品进行精确对准。这样可以确保测量的准确性不会因样品级的不正确位置或方向而受到影响。最后，用户在测试和测量过程中得到了很大的控制和灵活性。高级配置选项允许用户创建一个特定的测试序列,该序列利用可用于在单个运行中测量多个示例的自动化功能阵列。总体而言，LVIS是一种强大而精确的晶圆测试和计量工具，它将先进的激光成像技术与强大的软件分析结合在一起。这使得它能够以无与伦比的精度和细节来测量样品上的几何和电气特性。